Исследование влияния магнитного поля и потенциала смещения на подавление титановых макрочастиц вакуумно-дугового испарителя

Abstract

Выпускная квалификационная работа содержит 108 стр., 38 рис., 17 табл., 32 источник, 1 приложение. Ключевые слова: плазма, дуговой разряд, титан, осаждение, макрочастица. Объектом исследования являются влияние магнитного поля и потенциала смещения на подавление титановых макрочастиц вакуумно-дугового испарителя. Цель работы – исследования закономерностей формирования потока микрокапельной фракции вакуумно-дугового испарителя и увеличение эффективности подавления макрочастиц при приложении к потенциальной мишени высокочастотного коротко-импульсного потенциала смещения. В процессе исследования проводились различные эксперементы для определения влияние различных параметров на формирование макрокапельной фракции. В результате исследования определены наиболее оптимальные параметры составляющих

Keywords: plasma, arc discharge, titanium, precipitation, particulate. The object of research is the effect of the magnetic field and the bias potential to suppress particulate titanium vacuum arc evaporator. Scope: Plasma Physics.