Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/2889Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Козин, Кирилл Андреевич | ru |
| dc.contributor.author | Горюнов, Алексей Германович | ru |
| dc.contributor.author | Ливенцов, Сергей Николаевич | ru |
| dc.contributor.author | Гаврилов, Петр Михайлович | ru |
| dc.contributor.author | Ревенко, Ю. А. | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-11-20T02:55:28Z | - |
| dc.date.available | 2015-11-20T02:55:28Z | - |
| dc.date.issued | 2009 | - |
| dc.identifier.citation | Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния / К. А. Козин [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2009. — Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика. — [С. 70-74]. | ru |
| dc.identifier.issn | 1684-8519 | - |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/2889 | - |
| dc.description.abstract | Предложена каскадная двухконтурная система автоматизированного управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния методом водородного восстановления трихлорсилана, выбран тип регулятора и рассчитаны его параметры. Предложен, программно реализован и исследован алгоритм управления, обеспечивающий оптимальную траекторию ведения технологического процесса. Доказана возможность применения разработанного алгоритма управления для автоматизации аппаратов типа Siemens-реактор. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | - |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | Томский политехнический университет | ru |
| dc.relation.ispartof | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. 2009. Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика | - |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.source | Известия Томского политехнического университета | - |
| dc.subject | поликристаллический кремний | - |
| dc.subject | Siemens-реактор | - |
| dc.subject | CVD-метод | - |
| dc.subject | алгоритмы управления | - |
| dc.subject | системы автоматизированного управления | - |
| dc.title | Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния | ru |
| dc.type | Article | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/article | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.description.firstpage | 70 | - |
| local.description.lastpage | 74 | - |
| local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2009/v315/i5/14.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\book\192329 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\25934 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\25726 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\25467 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\27697 | - |
| local.issue | 5 | - |
| local.localtype | Статья | ru |
| local.volume | 315 | - |
| Располагается в коллекциях: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2009-315-5-14.pdf | 783,43 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.