Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/2889| Title: | Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния |
| Authors: | Козин, Кирилл Андреевич Горюнов, Алексей Германович Ливенцов, Сергей Николаевич Гаврилов, Петр Михайлович Ревенко, Ю. А. |
| Keywords: | поликристаллический кремний; Siemens-реактор; CVD-метод; алгоритмы управления; системы автоматизированного управления |
| Issue Date: | 2009 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния / К. А. Козин [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2009. — Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика. — [С. 70-74]. |
| Abstract: | Предложена каскадная двухконтурная система автоматизированного управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния методом водородного восстановления трихлорсилана, выбран тип регулятора и рассчитаны его параметры. Предложен, программно реализован и исследован алгоритм управления, обеспечивающий оптимальную траекторию ведения технологического процесса. Доказана возможность применения разработанного алгоритма управления для автоматизации аппаратов типа Siemens-реактор. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/2889 |
| ISSN: | 1684-8519 |
| Appears in Collections: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2009-315-5-14.pdf | 783,43 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.