Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/2889
Название: Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния
Авторы: Козин, Кирилл Андреевич
Горюнов, Алексей Германович
Ливенцов, Сергей Николаевич
Гаврилов, Петр Михайлович
Ревенко, Ю. А.
Ключевые слова: поликристаллический кремний; Siemens-реактор; CVD-метод; алгоритмы управления; системы автоматизированного управления
Дата публикации: 2009
Издатель: Томский политехнический университет
Библиографическое описание: Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния / К. А. Козин [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2009. — Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика. — [С. 70-74].
Аннотация: Предложена каскадная двухконтурная система автоматизированного управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния методом водородного восстановления трихлорсилана, выбран тип регулятора и рассчитаны его параметры. Предложен, программно реализован и исследован алгоритм управления, обеспечивающий оптимальную траекторию ведения технологического процесса. Доказана возможность применения разработанного алгоритма управления для автоматизации аппаратов типа Siemens-реактор.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/2889
ISSN: 1684-8519
Располагается в коллекциях:Известия ТПУ

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
bulletin_tpu-2009-315-5-14.pdf783,43 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.