Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/2889
Title: Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния
Authors: Козин, Кирилл Андреевич
Горюнов, Алексей Германович
Ливенцов, Сергей Николаевич
Гаврилов, Петр Михайлович
Ревенко, Ю. А.
Keywords: поликристаллический кремний; Siemens-реактор; CVD-метод; алгоритмы управления; системы автоматизированного управления
Issue Date: 2009
Publisher: Томский политехнический университет
Citation: Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния / К. А. Козин [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2009. — Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика. — [С. 70-74].
Abstract: Предложена каскадная двухконтурная система автоматизированного управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния методом водородного восстановления трихлорсилана, выбран тип регулятора и рассчитаны его параметры. Предложен, программно реализован и исследован алгоритм управления, обеспечивающий оптимальную траекторию ведения технологического процесса. Доказана возможность применения разработанного алгоритма управления для автоматизации аппаратов типа Siemens-реактор.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/2889
ISSN: 1684-8519
Appears in Collections:Известия ТПУ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
bulletin_tpu-2009-315-5-14.pdf783,43 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.