Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/29244
Название: Диагностика процесса распыления и исследование структуры покрытий оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
Авторы: Сунь, Чжилэй -
Научный руководитель: Пичугин, Владимир Федорович
Ключевые слова: покрытие оксинитридов титана; реактивное магнетронное распыление; оптическая спектроскопия; зонд Ленгмюра; структурный анализ; titanium oxynitrides coatings; reactive magnetron sputtering; optical spectroscopy; Langmuir probe; structural analysis
Дата публикации: 2016
Библиографическое описание: Сунь Ч. -. Диагностика процесса распыления и исследование структуры покрытий оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления : дипломный проект / Ч. -. Сунь ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра общей физики (ОФ) ; науч. рук. В. Ф. Пичугин. — Томск, 2016.
Аннотация: Данная выпускная квалификационная работа содержит 126 с, 35 рисунков, 21 таблиц, 20 источников. Целью работы является определение параметров плазмы, исследование структуры и основных физико-механических свойств покрытий оксинитпидов титана TiOxNy, осажденных методом магнетронного распыления при различных режимах напыления. В работе представлены теоретические основы по биоматериалам, методам осаждения покрытий, дианостики плазмы и структурного анализа. В ходе работы был определен фазовый состав, параметры решетки, шероховатость, твердость (Н) и модуль Юнга (E) полученных покрытий. Полученные результаты позволяют установить возможность использования данных покрытий для модифицирования поверхности медицинских имплантатов.
This graduation qualifying work contains 126 pages, 35 figures, 21 tables, 20 sources. The aim of the work is to determine the plasma parameters, study the structure and basic physical and mechanical properties of titanium oxynitrides TiOxNy coatings, which are deposited using magnetron sputtering under different sputtering modes. In the work presented the theoretical foundations of biomaterials, coatings deposition methods, plasma diagnostic and structural analysis. Phase composition, the lattice parameters, roughness, hardness (H) and Young's modulus (E) of the resulting coatings were determined in the work. These results allow to establish the possibility of using these coatings to modify the surface of medical implants.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/29244
Располагается в коллекциях:ВКР

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
TPU187534.pdf2,83 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.