Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/29904
Title: Исследование алюминиевых покрытий, полученных с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
Authors: Кушебина, Айгерим Казбековна
metadata.dc.contributor.advisor: Юрьева, Алена Викторовна
Keywords: свойства пленок; тонкопленочные покрытия; магнетронная распылительная система; алюминиевые покрытия; жидкофазная мишень; film properties; aluminum coating; thin-film coating; magnetron sputtering system; liquid-phase target
Issue Date: 2016
Citation: Кушебина А. К. Исследование алюминиевых покрытий, полученных с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью : дипломный проект / А. К. Кушебина ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра общей физики (ОФ) ; науч. рук. А. В. Юрьева. — Томск, 2016.
Abstract: В данной работе проводилось исследование алюминиевых покрытий, полученных с помощью магнетронной распылительной системы (МРС) с жидкофазной мишенью. Цель работы – оценка влияния режимов работы и материалов тиглей МРС с жидкофазной мишенью на свойства тонкопленочных алюминиевых покрытий. В процессе исследования проводилось: осаждение алюминиевых пленок с помощью МРС с жидкой мишенью; измерение температур мишени и тиглей; определение влияния режима на скорость осаждения; определение зависимости скорости осаждения от мощности разряда; измерение адгезионной прочности и шероховатости поверхности; проведение рентгеноструктурного анализа; измерение коэффициента отражения.
In this work, a study was conducted of aluminum coatings obtained by magnetron sputtering system with a liquid-phase target. Purpose - assessment of the impact of operating modes and materials of crucibles MSS with liquid phase target on the properties of thin-film coatings of aluminum. The study was carried out: deposition of aluminum films by MSS with the liquid target; measurement of the target temperature and the crucibles; determine the impact of the regime on the deposition rate; depending on the definition of the rate of deposition of discharge capacity; measurement of the adhesive strength and roughness; carrying out X-ray analysis; measuring the reflection coefficient.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/29904
Appears in Collections:ВКР

Files in This Item:
File SizeFormat 
TPU208526.pdf1,53 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.