Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30091
Title: Моделирование переноса вещества при осаждении покрытий с использованием импульсных магнетронных распылительных систем
Authors: Баженов, Андрей Юрьевич
metadata.dc.contributor.advisor: Блейхер, Галина Алексеевна
Keywords: Тепловые процессы; Плотность потока; Импульсные системы; Металлические покрытия; Моделирование; Поток энергии; Metal coatings; Pusled systems; Thermal processes; Modeling; Energy flux
Issue Date: 2016
Citation: Баженов А. Ю. Моделирование переноса вещества при осаждении покрытий с использованием импульсных магнетронных распылительных систем : дипломный проект / А. Ю. Баженов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) ; науч. рук. Г. А. Блейхер. — Томск, 2016.
Abstract: Работа включает в себя 138 страниц, 35 таблиц, 31 рисунок, 6 глав, 3 приложений, 33 литературных источников. Ключевые слова: Моделирование, металлические покрытия, импульсные системы, плотность потока, тепловые процессы, поток энергии. Данная работа посвящена изучению тепловых и эрозионных процессов при работе импульсных магнетронных распылительных систем. В качестве исследуемых характеристик выступают плотность потока осаждаемых частиц (распылительная и испарительная), средняя и наиболее вероятная кинетическая энергия осаждаемых частиц, поток энергии, поступающий на подложку. Цель работы: создание численной модели и работоспособной компьютерной программы для описания процесса переноса вещества от мишени к подложке при работе импульсной магнетронной распылительной системы с испарением м
The subject of the scientific work is mathematical modeling and creates software of mass and energy transfer using impulse magnetron sputtering system with hot target. Using this mathematical model to get formation laws of flux density of deposited particles depending on the parameters of IMSS. The parameters of impulse magnetron sputtering system are impulse time, frequency, duty cycle, the average power over the period and pulse. In this work research two operating mode: high frequency mode where the pulse repetition rate is 100 Hz, duty cycle is 5% and the average frequency mode where pulse repetition rate is 15 kHz, duty cycle is 5%. For two operating mode research flux density of deposited atoms and the average energy of sputtered and evaporated atoms for further analysis of the morph
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30091
Appears in Collections:ВКР

Files in This Item:
File SizeFormat 
TPU207663.pdf1,48 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.