Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30303
Title: Исследование тепловых и эрозионных процессов в теплоизолированных мишенях магнетронных распылительных систем
Authors: Комарова, Диана Андреевна
metadata.dc.contributor.advisor: Блейхер, Галина Алексеевна
Keywords: мишень; теплоизолированная; тепловые; эрозионные; МРС; target; insulated; heat; erosion; MSS
Issue Date: 2016
Citation: Комарова Д. А. Исследование тепловых и эрозионных процессов в теплоизолированных мишенях магнетронных распылительных систем : дипломный проект / Д. А. Комарова ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) ; науч. рук. Г. А. Блейхер. — Томск, 2016.
Abstract: В данной работе получены закономерности тепловых и эрозионных процессов в мишенях магнетронных распылительных систем (МРС), имеющих полную или частичную теплоизоляцию с охлаждаемыми элементами катодных узлов. Были рассмотрены два вида конструкций МРС: мишень в тигле с возможностью её полного расплавления и твердотельная «горячая» мишень. Результаты получены как для магнетронов на постоянном токе, так и работающих в импульсно-периодическом режиме. Полученные результаты способствуют развитию представлений о тепловых и эрозионных процессах в мишенях МРС и способах повышения производительности осаждения покрытий с их использованием.
In this work dependences of heat and erosion processes in targets of Magnetron Sputtering Systems (MSS), which have full or partial heat insulation from cooling elements of a cathode, are obtained. Two kinds of MSS construction are considered, specifically a target in a crucible with possibility of its complete melting and a solid state "hot" target. Results are obtained for MSS with DC power supply and for MSS with periodic pulsed power supply. These results contribute to development of an image of heat and erosion processes in MSS targets and ways of perfomance increase of thin film deposition with their use.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30303
Appears in Collections:ВКР

Files in This Item:
File SizeFormat 
TPU210790.pdf1,27 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.