Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30546
Название: Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07
Авторы: Юрьев, Юрий Николаевич
Научный руководитель: Кривобоков, Валерий Павлович
Ключевые слова: Пленки тонкие — Исследование — (твердые тела); диссертации; оксид титана; углерод; аморфный углерод; магнетронные системы; распылительные системы; тонкопленочные покрытия; магнетронные распылительные системы; осаждение
Дата публикации: 2016
Библиографическое описание: Юрьев Ю. Н. Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / Ю. Н. Юрьев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2016.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30546
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
dis00002.pdf3,76 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.