Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30546| Название: | Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07 |
| Авторы: | Юрьев, Юрий Николаевич |
| Научный руководитель: | Кривобоков, Валерий Павлович |
| Ключевые слова: | Пленки тонкие — Исследование — (твердые тела); диссертации; оксид титана; углерод; аморфный углерод; магнетронные системы; распылительные системы; тонкопленочные покрытия; магнетронные распылительные системы; осаждение |
| Дата публикации: | 2016 |
| Библиографическое описание: | Юрьев Ю. Н. Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / Ю. Н. Юрьев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2016. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30546 |
| Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| dis00002.pdf | 3,76 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.