Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/31245
Title: Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
Authors: Бойцова, Елена Львовна
Леонова, Лилия Александровна
Пустовалова, Алла Александровна
Keywords: поверхности; растворимость; покрытия; оксинитриды титана; реактивное магнетронное распыление
Issue Date: 2016
Citation: Бойцова Е. Л. Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления / Е. Л. Бойцова, Л. А. Леонова, А. А. Пустовалова // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине : сборник тезисов докладов VIII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 1-3 июня 2016 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2016. — [С. 124-125].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/31245
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
conference_tpu-2016-C49_p124-125.pdf481,46 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.