1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35828
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorVolkov, Nikolayen
dc.contributor.authorYashin, Alexanderen
dc.contributor.authorKalin, Borisen
dc.contributor.authorValikov, Romanen
dc.contributor.authorKrivobokov, Valery Pavlovichen
dc.contributor.authorYanin, Sergey Nikolaevichen
dc.contributor.authorYuriev, Yuri Nikolaevichen
dc.date.accessioned2016-12-30T02:54:05Z-
dc.date.available2016-12-30T02:54:05Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationAnalysis of work and increasing of efficiency of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modification / N. Volkov [et al.] // Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2016. — [P. 180].en
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/35828-
dc.language.isoenen
dc.relation.ispartofEnergy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia. — Tomsk, 2016.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectмагнетроныru
dc.subjectтрубчатые образцыru
dc.subjectмодификацияru
dc.subjectповерхностиru
dc.subjectпучкиru
dc.subjectионыru
dc.subjectраспылениеru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjection beamru
dc.subjectmagnetronru
dc.subjectsputteringru
dc.subjectthin filmsru
dc.subjectmodificationru
dc.titleAnalysis of work and increasing of efficiency of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modificationen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)ru
local.description.firstpage180-
local.filepathconference_tpu-2016-C117_p181.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\19867-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\21255-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\30416-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\35099-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\31508-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameEnergy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)-
local.conference.date2016-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C117_p181.pdf218,96 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.