Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35828| Название: | Analysis of work and increasing of efficiency of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modification |
| Авторы: | Volkov, Nikolay Yashin, Alexander Kalin, Boris Valikov, Roman Krivobokov, Valery Pavlovich Yanin, Sergey Nikolaevich Yuriev, Yuri Nikolaevich |
| Ключевые слова: | магнетроны; трубчатые образцы; модификация; поверхности; пучки; ионы; распыление; тонкие пленки; ion beam; magnetron; sputtering; thin films; modification |
| Дата публикации: | 2016 |
| Библиографическое описание: | Analysis of work and increasing of efficiency of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modification / N. Volkov [et al.] // Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2016. — [P. 180]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35828 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2016-C117_p181.pdf | 218,96 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.