Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35828
Название: Analysis of work and increasing of efficiency of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modification
Авторы: Volkov, Nikolay
Yashin, Alexander
Kalin, Boris
Valikov, Roman
Krivobokov, Valery Pavlovich
Yanin, Sergey Nikolaevich
Yuriev, Yuri Nikolaevich
Ключевые слова: магнетроны; трубчатые образцы; модификация; поверхности; пучки; ионы; распыление; тонкие пленки; ion beam; magnetron; sputtering; thin films; modification
Дата публикации: 2016
Библиографическое описание: Analysis of work and increasing of efficiency of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modification / N. Volkov [et al.] // Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016) : International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2016. — [P. 180].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35828
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C117_p181.pdf218,96 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.