Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3624
Название: Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий
Авторы: Линник, Степан Андреевич
Гайдайчук, Александр Валерьевич
Шаманин, Игорь Владимирович
Ключевые слова: тлеющий разряд; полые катоды; плазмохимические реакции; осаждение из газовой фазы; азотирование; поверхности; модификация
Дата публикации: 2011
Издатель: Томский политехнический университет
Библиографическое описание: Линник С. А. Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий / С. А. Линник, А. В. Гайдайчук, И. В. Шаманин // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2011. — Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика. — [С. 86-88].
Аннотация: Представлена конструкция источника плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода, работающего в диапазоне давлений от 10-2до10-4Па. Проведены экспериментальные исследования процесса азотирования титана и осаждения из газовой фазы с плазменным ассистированием покрытия из пиролитического углерода на поверхность кремния. Представлены данные по составу, толщине и микротвердости полученных образцов. Экспериментально доказана возможность использования разработанного источника как в режиме азотирования, так и в режиме нанесения покрытий.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3624
ISSN: 1684-8519
Располагается в коллекциях:Известия ТПУ

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
bulletin_tpu-2011-318-2-18.pdf156,06 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.