Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3624| Название: | Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий |
| Авторы: | Линник, Степан Андреевич Гайдайчук, Александр Валерьевич Шаманин, Игорь Владимирович |
| Ключевые слова: | тлеющий разряд; полые катоды; плазмохимические реакции; осаждение из газовой фазы; азотирование; поверхности; модификация |
| Дата публикации: | 2011 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Линник С. А. Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий / С. А. Линник, А. В. Гайдайчук, И. В. Шаманин // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2011. — Т. 318, № 2 : Математика и механика. Физика. — [С. 86-88]. |
| Аннотация: | Представлена конструкция источника плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода, работающего в диапазоне давлений от 10-2до10-4Па. Проведены экспериментальные исследования процесса азотирования титана и осаждения из газовой фазы с плазменным ассистированием покрытия из пиролитического углерода на поверхность кремния. Представлены данные по составу, толщине и микротвердости полученных образцов. Экспериментально доказана возможность использования разработанного источника как в режиме азотирования, так и в режиме нанесения покрытий. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3624 |
| ISSN: | 1684-8519 |
| Располагается в коллекциях: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2011-318-2-18.pdf | 156,06 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.