1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorКнязева, Анна Георгиевнаru
dc.contributor.authorПарфёнова, Елена Сергеевнаru
dc.date.accessioned2017-02-03T06:27:13Z-
dc.date.available2017-02-03T06:27:13Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationПарфёнова Е. С. Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием / Е. С. Парфёнова ; науч. рук. А. Г. Князева // Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016) : сборник научных трудов V Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 5–7 декабря 2016 г. — Томск : STT, 2016. — [С. 531-532].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438-
dc.language.isoruen
dc.relation.ispartofВысокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016) : сборник научных трудов V Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 5–7 декабря 2016 г. — Томск, 2016.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectэлектронные ресурсыru
dc.subjectзаряженные частицыru
dc.subjectионная имплантацияru
dc.subjectконцентрационные волныru
dc.subjectпримесиru
dc.subjectметаллыru
dc.titleМоделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытиемru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Институт физики высоких технологий (ИФВТ)::Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ")ru
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Институт физики высоких технологий (ИФВТ)::Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)ru
local.description.firstpage531-
local.description.lastpage532-
local.filepathconference_tpu-2016-C17_p531-532.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\20507-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\19311-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\18687-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\32757-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameВысокие технологии в современной науке и технике-
local.conference.date2016-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C17_p531-532.pdf238,38 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.