Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438| Название: | Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием |
| Авторы: | Парфёнова, Елена Сергеевна |
| Научный руководитель: | Князева, Анна Георгиевна |
| Ключевые слова: | электронные ресурсы; заряженные частицы; ионная имплантация; концентрационные волны; примеси; металлы |
| Дата публикации: | 2016 |
| Библиографическое описание: | Парфёнова Е. С. Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием / Е. С. Парфёнова ; науч. рук. А. Г. Князева // Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016) : сборник научных трудов V Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 5–7 декабря 2016 г. — Томск : STT, 2016. — [С. 531-532]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2016-C17_p531-532.pdf | 238,38 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.