Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438
Название: Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием
Авторы: Парфёнова, Елена Сергеевна
Научный руководитель: Князева, Анна Георгиевна
Ключевые слова: электронные ресурсы; заряженные частицы; ионная имплантация; концентрационные волны; примеси; металлы
Дата публикации: 2016
Библиографическое описание: Парфёнова Е. С. Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием / Е. С. Парфёнова ; науч. рук. А. Г. Князева // Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016) : сборник научных трудов V Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 5–7 декабря 2016 г. — Томск : STT, 2016. — [С. 531-532].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C17_p531-532.pdf238,38 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.