Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438
Title: Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием
Authors: Парфёнова, Елена Сергеевна
metadata.dc.contributor.advisor: Князева, Анна Георгиевна
Keywords: электронные ресурсы; заряженные частицы; ионная имплантация; концентрационные волны; примеси; металлы
Issue Date: 2016
Citation: Парфёнова Е. С. Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием / Е. С. Парфёнова ; науч. рук. А. Г. Князева // Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016) : сборник научных трудов V Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 5–7 декабря 2016 г. — Томск : STT, 2016. — [С. 531-532].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/36438
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File SizeFormat 
conference_tpu-2016-C17_p531-532.pdf238,38 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.