Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3874
Title: Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления
Authors: Сергеев, Виктор Петрович
Федорищева, М. В.
Сунгатулин, А. Р.
Никалин, А. Ю.
Нейфельд, В. В.
Keywords: магнетронное осаждение; ионная бомбардировка; покрытия; нитриды; кремний; алюминий; термостойкость; фазовый состав; термомеханические свойства; атомно-силовая микроскопия; рентгеноструктурный анализ; термоциклическая стойкость
Issue Date: 2011
Publisher: Томский политехнический университет
Citation: Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления / В. П. Сергеев [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2011. — Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика. — [С. 103-108].
Abstract: Методом магнетронного распыления получены покрытия на основе Si-Al-N. Исследованы их структура и фазовый состав методами атомно-силовой микроскопии и рентгеноструктурного анализа. Установлено влияние режимов осаждения покрытий на их термоциклическую стойкость.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/3874
ISSN: 1684-8519
Appears in Collections:Известия ТПУ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
bulletin_tpu-2011-319-2-22.pdf4,34 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.