Влияние водородной атмосферы на свойства плёнки оксида алюминия на титане ВТ1-0

Abstract

Работа посвящена взаимодействию пленки оксида алюминия, нанесенной на технически чистый титан марки Вт1-0 методом магнетронного реактивного напыления, с водород содержащей атмосферой. Время выдержки данной системы, в водород содержащей атмосфере составляло от 1-4 ч, при прочих неизменных параметрах. Получены данные по распределению водорода по глубине (толщине пленки) и его содержанию в тонкопленочной системе. Выявлено влияние времени выдержки в водородной атмосфере на адгезионные свойства, коэффициент трения и поверхностную электропроводность пленки оксида алюминия.

The work is devoted to the interaction of an aluminum oxide film deposited on VT1-0 technically pure titanium by magnetron reactive sputtering with hydrogen containing atmosphere. The holding time of this system in hydrogen containing the atmosphere was from 1 to 4 hours, with other constant parameters. Data are obtained on the distribution of hydrogen in depth (film thickness) and its content in a thin-film system. The influence of the holding time in the hydrogen atmosphere on the adhesion properties, the friction coefficient and the surface electrical conductivity of the aluminum oxide film was revealed.