Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41501
Название: | Анализ микроструктуры пленок на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления |
Другие названия: | Microstructure analysis of titanium oxynitride films deposited by reactive magnetron sputtering |
Авторы: | Сунь Чжилэй Конищев, Максим Евгеньевич Пустовалова, Алла Александровна |
Научный руководитель: | Пичугин, Владимир Федорович |
Ключевые слова: | биосовместимость; имплантаты; медицинское материаловедение; гладкомышечные клетки; гемосовместимость |
Дата публикации: | 2017 |
Издатель: | Изд-во ТПУ |
Библиографическое описание: | Сунь Чжилэй. Анализ микроструктуры пленок на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления / Сунь Чжилэй, М. Е. Конищев, А. А. Пустовалова ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — Т. 1 : Физика. — [С. 423-425]. |
Аннотация: | This paper presents the structure analysis results of TiOxNy films, deposited using reactive magnetron sputtering with different O2/N2 flow ratio. The impact of increase of N2 flow upon the films structure has been studied. The analysis was carried out by X-ray diffraction method. The lattice parameters and phase composition were calculated using PowderCell 2.4. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41501 |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2017-C21_V1_p423-425.pdf | 368,13 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.