Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/4164Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Гудымович, Е. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Ванифатьева, Е. Ю. | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-11-20T03:03:19Z | - |
| dc.date.available | 2015-11-20T03:03:19Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Гудымович Е. Н. Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях / Е. Н. Гудымович, Е. Ю. Ванифатьева // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2012. — Т. 320, № 3 : Химия. — [С. 62-66]. | ru |
| dc.identifier.issn | 1684-8519 | - |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/4164 | - |
| dc.description.abstract | Представлены экспериментальные результаты по фотоактивированному травлению диэлектрических слоев SiO2, используемых в планарной технологии микроэлектроники. Показано, что композиции, содержащие в своем составе доноры и акцепторы протонов и фтор-содержащие соединения, обеспечивают высокую скорость травления диоксида кремния за счет высвобождения ионов фтора из сольватной оболочки и их активации при УФ облучении. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | - |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | Томский политехнический университет | ru |
| dc.relation.ispartof | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. 2012. Т. 320, № 3 : Химия | - |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.source | Известия Томского политехнического университета | - |
| dc.subject | фототравление | - |
| dc.subject | доноры | - |
| dc.subject | акцепторы | - |
| dc.subject | диоксид кремния | - |
| dc.subject | радикалы | - |
| dc.subject | десольватация | - |
| dc.subject | протофильные реагенты | - |
| dc.subject | экспериментальные результаты | - |
| dc.subject | фторсодержащие соединения | - |
| dc.title | Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях | ru |
| dc.type | Article | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/article | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.description.firstpage | 62 | - |
| local.description.lastpage | 66 | - |
| local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2012/v320/i3/13.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\book\236973 | - |
| local.issue | 3 | - |
| local.localtype | Статья | ru |
| local.volume | 320 | - |
| Располагается в коллекциях: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2012-320-3-13.pdf | 103 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.