Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/4164| Title: | Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях |
| Authors: | Гудымович, Е. Н. Ванифатьева, Е. Ю. |
| Keywords: | фототравление; доноры; акцепторы; диоксид кремния; радикалы; десольватация; протофильные реагенты; экспериментальные результаты; фторсодержащие соединения |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Гудымович Е. Н. Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях / Е. Н. Гудымович, Е. Ю. Ванифатьева // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2012. — Т. 320, № 3 : Химия. — [С. 62-66]. |
| Abstract: | Представлены экспериментальные результаты по фотоактивированному травлению диэлектрических слоев SiO2, используемых в планарной технологии микроэлектроники. Показано, что композиции, содержащие в своем составе доноры и акцепторы протонов и фтор-содержащие соединения, обеспечивают высокую скорость травления диоксида кремния за счет высвобождения ионов фтора из сольватной оболочки и их активации при УФ облучении. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/4164 |
| ISSN: | 1684-8519 |
| Appears in Collections: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2012-320-3-13.pdf | 103 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.