Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/4164
Название: Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях
Авторы: Гудымович, Е. Н.
Ванифатьева, Е. Ю.
Ключевые слова: фототравление; доноры; акцепторы; диоксид кремния; радикалы; десольватация; протофильные реагенты; экспериментальные результаты; фторсодержащие соединения
Дата публикации: 2012
Издатель: Томский политехнический университет
Библиографическое описание: Гудымович Е. Н. Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях / Е. Н. Гудымович, Е. Ю. Ванифатьева // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2012. — Т. 320, № 3 : Химия. — [С. 62-66].
Аннотация: Представлены экспериментальные результаты по фотоактивированному травлению диэлектрических слоев SiO2, используемых в планарной технологии микроэлектроники. Показано, что композиции, содержащие в своем составе доноры и акцепторы протонов и фтор-содержащие соединения, обеспечивают высокую скорость травления диоксида кремния за счет высвобождения ионов фтора из сольватной оболочки и их активации при УФ облучении.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/4164
ISSN: 1684-8519
Располагается в коллекциях:Известия ТПУ

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
bulletin_tpu-2012-320-3-13.pdf103 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.