Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/44825
Название: | Разработка способа очистки газовой среды в процессе выращивания полупроводниковых монокристаллов |
Авторы: | Голубовская, Н. О. |
Ключевые слова: | очистка; газовые среды; выращивание; полупроводниковые монокристаллы |
Дата публикации: | 2017 |
Библиографическое описание: | Голубовская Н. О. Разработка способа очистки газовой среды в процессе выращивания полупроводниковых монокристаллов / Н. О. Голубовская // "Орбита молодёжи" и перспективы развития российской космонавтики : сборник докладов Всероссийской молодёжной научно-практической конференции, г. Томск, 18-22 сентября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 181-182]. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/44825 |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2017-C121_p182-183.pdf | 196 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.