Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45781| Название: | Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07 |
| Авторы: | Юрьева, Алена Викторовна |
| Научный руководитель: | Кривобоков, Валерий Павлович |
| Ключевые слова: | —; авторефераты диссертаций; осаждение; металлические покрытия; магнетроны; жидкофазные мишени; тонкие пленки; материаловедение; магнетронные распылительные системы; самораспыление; физико-механические свойства; медные покрытия; теплофизические характеристики |
| Дата публикации: | 2017 |
| Библиографическое описание: | Юрьева А. В. Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью : автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / А. В. Юрьева ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. В. П. Кривобоков. — Томск, 2017. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45781 |
| Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2017-57.pdf | 1,29 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.