Влияние ионной бомбардировки на формирование поверхностных слоев при азотировании в безводородной плазме газового разряда

Abstract

В работе приведены результаты изучения процессов упрочнения стальных образцов в безводородной плазме низковольтного газового разряда в вакууме. В отличие от тлеющего разряда, широко применяемого в промышленных технологиях для проведения ионно-плазменного азотирования, в данном типе газового разряда из-за низкого давления заметно выражены эффекты распыления поверхности обрабатываемых деталей. Данное обстоятельство однозначно должно приводить к интенсификации диффузионных процессов. В работе описаны параметры оборудования, приводятся экспериментальные данные по измерениям шероховатости, микротвердости и структуре поверхностей легированных сталей. Отдельное внимание уделено вопросу азотирования закаленных сталей в данном типе разряда в диапазоне температур отпуска.

In this work presents the results of studying the processes of hardening of steel samples in hydrogen-free plasma of low-voltage gas discharge in vacuum. In contrast to the glow discharge, widely used in industrial technologies for ion-plasma nitriding, in this type of gas discharge due to the low pressure, the effects of spraying the surface of the processed parts are markedly expressed. This fact should definitely lead to the intensification of diffusion processes. The paper describes the parameters of the equipment, provides experimental data on the measurements of roughness, microhardness and structure of the surfaces of alloy steels. Special attention is paid to the issue of nitriding of hardened steels in this type of discharge in the tempering temperature range.