Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925
Название: | Сильноточное магнетронное распыление Al мишени |
Авторы: | Грудинин, Владислав Алексеевич Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
Ключевые слова: | магнетронное распыление; сильноточное распыление; мишени; тонкопленочные покрытия; ионно-плазменные установки; теплопроводность; алюминий; плазма; осаждение |
Дата публикации: | 2018 |
Библиографическое описание: | Грудинин В. А. Сильноточное магнетронное распыление Al мишени / В. А. Грудинин, Д. В. Сиделёв // Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2018. — [С. 286-287]. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925 |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2018-C125_p286-287.pdf | 330,26 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.