Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52381
Title: Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления
Authors: Загузин, И. Ю.
Лютиков, О. Н.
metadata.dc.contributor.advisor: Мышкин, Вячеслав Фёдорович
Keywords: напыление; магнитные поля; магнетронное распыление; тонкие пленки; физико-химические процессы; изотопный состав
Issue Date: 2018
Citation: Загузин И. Ю. Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления / И. Ю. Загузин, О. Н. Лютиков ; науч. рук. В. Ф. Мышкин // Изотопы: технологии, материалы и применение : материалы V Международной научной конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 19-23 ноября 2018 г. — Томск : Графика, 2018. — [С. 42].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52381
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File SizeFormat 
conference_tpu-2018-C84_p42.pdf275,92 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.