Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52833
Title: Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07
Authors: Шипилова, Анна Викторовна
metadata.dc.contributor.advisor: Соловьев, Андрей Александрович
Keywords: Электрохимия прикладная; авторефераты диссертаций; структуры; свойства; тонкие пленки; магнетронное распыление; магнетронное осаждение; электролиты; топливные элементы; распылительные системы; аноды; приповерхностные слои
Issue Date: 2018
Citation: Шипилова А. В. Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / А. В. Шипилова ; Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; науч. рук. А. А. Соловьев. — Томск, 2018. — 22 с. : ил.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52833
Appears in Collections:Авторефераты и диссертации

Files in This Item:
File SizeFormat 
thesis_tpu-2018-55.pdf1,31 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.