Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53313| Title: | Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.20 |
| Authors: | Шевелев, Алексей Эдуардович |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Рябчиков, Александр Ильич |
| Keywords: | —; диссертации; формирование; высокоинтенсивные пучки; ионы металлов; низкие энергии; плазма; вакуумные дуги; заряженные частицы; ионная имплантация; элементный состав; приповерхностные слои; плазменно-иммерсионное формирование; вакуумно-дуговые разряды; транспортировка; фокусировка; вакуумно-дуговая плазма; низкие энергии; практическое применение |
| Issue Date: | 2019 |
| Citation: | Шевелев А. Э. Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.20 / А. Э. Шевелев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. А. И. Рябчиков. — Томск, 2019. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53313 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| dis00344.pdf | 6,31 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.