Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53316
Title: Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.20
Authors: Шевелев, Алексей Эдуардович
metadata.dc.contributor.advisor: Рябчиков, Александр Ильич
Keywords: —; авторефераты диссертаций; формирование; высокоинтенсивные пучки; ионы металлов; низкие энергии; плазма; вакуумные дуги; заряженные частицы; ионная имплантация; элементный состав; приповерхностные слои; плазменно-иммерсионное формирование; вакуумно-дуговые разряды; транспортировка; фокусировка; вакуумно-дуговая плазма; низкие энергии
Issue Date: 2019
Citation: Шевелев А. Э. Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.20 / А. Э. Шевелев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. А. И. Рябчиков. — Томск, 2019.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53316
Appears in Collections:Авторефераты и диссертации

Files in This Item:
File SizeFormat 
thesis_tpu-2019-09.pdf1,22 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.