Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54126
Title: Исследование свойств медных покрытий, полученных в режиме самораспыление при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Authors: Торломоев, Алексей Эженович
metadata.dc.contributor.advisor: Юрьева, Алёна Викторовна
Keywords: свойства медных покрытий; тонкие медные пленки; магнетронная распылительная система с жидкой мишенью; шероховатость; электропроводимость; микроструктура; properties of copper coatings; thin copper films; magnetron sputtering system with a liquid target.; roughness; electrical conductivity; microstructure
Issue Date: 2019
Citation: Торломоев А. Э. Исследование свойств медных покрытий, полученных в режиме самораспыление при работе магнетрона с испаряющейся мишенью : магистерская диссертация / А. Э. Торломоев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Отделение экспериментальной физики (ОЭФ) ; науч. рук. А. В. Юрьева. — Томск, 2019.
Abstract: Объектом исследования: Медные пленки, полученные с помощью МРС с жидкой мишенью. Цель работы: Исследовать влияние различных режимов работы, источников питания на свойства полученных тонких медных пленок в зависимости от состояния мишени. В результате исследования обнаружено, что шероховатость и структура тонких пленок не зависит от источника питания; для медных пленок толщиной 1мкм шероховатость увеличивается при использовании жидкой мишени.
The object of the research: Copper films obtained using liquid-crystal microscopy with a liquid target. Objective: To investigate the effect of various operating modes, power sources on the properties of the obtained thin copper films depending on the state of the target. The study found that the roughness and structure of thin films does not depend on the power source; for copper films with a thickness of 1 µm, the roughness increases with the use of a liquid target.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54126
Appears in Collections:Магистерские диссертации

Files in This Item:
File SizeFormat 
TPU717618.pdf2,97 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.