Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55833
Title: Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок
Other Titles: Selection of operation modes of the radio-frequency source of glow disharge optical emission spectrometer GD-Profiler 2 for analysis of thin films
Authors: Ломыгин, Антон
metadata.dc.contributor.advisor: Лаптев, Роман Сергеевич
Keywords: режимы работы; спектрометры; тлеющие разряды; тонкие пленки; спектрометрия; нанокомпозитные покрытия; импульсные источники; радиочастотные источники; подложки
Issue Date: 2019
Publisher: Изд-во ТПУ
Citation: Ломыгин А. Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок / А. Ломыгин ; науч. рук. Р. С. Лаптев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — Т. 1 : Физика. — [С. 208-210].
Abstract: Modern technologies cannot do without materials with special characteristics, some of these materials are coatings and thin films. Coatings and thin films are used in various areas ranging from optics to protective films from any effects. The characteristics of these films mainly depend on two factors of composition and structure. These factors must be carefully controlled, but one method of controlling the elemental composition is glow discharge spectrometry. This study aims to study the sputtering modes for a pulsed radio frequency source of a glow discharge spectrometer DG-Profiler 2.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55833
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File SizeFormat 
conference_tpu-2019-C21_V1_p208-210.pdf928,5 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.