Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57740
Название: | High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering |
Авторы: | Sidelev, Dmitry Vladimirovich Bleykher, Galina Alekseevna Grudinin, Vladislav Alekseevich Krivobokov, Valery Pavlovich Bestetti, Massimiliano |
Ключевые слова: | высокоскоростное осаждение; хромовые покрытия; магнетронное распыление; мишени; подложки |
Дата публикации: | 2019 |
Библиографическое описание: | High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering / D. V. Sidelev [et al.] // Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019) : 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2019. — [С. 192]. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57740 |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2019-C108_p192.pdf | 458,94 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.