Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57752
Title: Characterization of magnetron plasma using optical spectroscopy and collisional-radiative model of nitrogen
Authors: Evdokimov, Kirill Evgenievich
Konishchev, Maksim Evgenievich
Pichugin, Vladimir Fyodorovich
Sun, Z.
Keywords: магнетронная плазма; оптическая спектроскопия; азот; столкновительно-излучательные процессы; магнетронные разряды; газовые смеси; пространственная неоднородность; низкотемпературная плазма; характеристики
Issue Date: 2019
Citation: Characterization of magnetron plasma using optical spectroscopy and collisional-radiative model of nitrogen / K. E. Evdokimov [et al.] // Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019) : 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2019. — [С. 66].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57752
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File SizeFormat 
conference_tpu-2019-C108_p66.pdf555,33 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.