Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57759| Название: | Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target |
| Авторы: | Bleykher, Galina Alekseevna Yuryeva, Alena Victorovna Shabunin, Artem Sergeevich Sidelev, Dmitry Vladimirovich Grudinin, Vladislav Alekseevich |
| Ключевые слова: | магнетронное распыление; металлические мишени; магнетроны; осаждение; покрытия; самораспыление; магнетронные распылительные системы |
| Дата публикации: | 2019 |
| Библиографическое описание: | Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target / G. A. Bleykher [et al.] // Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019) : 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2019. — [С. 277]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57759 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2019-C108_p277.pdf | 337,71 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.