Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/60535| Title: | Травление углеродных плёнок с помощью индуктивно-связанного источника плазмы |
| Authors: | Галин, Ярослав Сергеевич |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Keywords: | травление; углерод; индуктивно-связанный источник; аргон; водород; etching; carbon; inductively coupled source; argon; hydrogen |
| Issue Date: | 2020 |
| Citation: | Галин Я. С. Травление углеродных плёнок с помощью индуктивно-связанного источника плазмы : дипломный проект / Я. С. Галин ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Д. В. Сиделёв. — Томск, 2020. |
| Abstract: | Исследования выполнены в рамках работ по созданию новой технологии восстановления функциональных свойств материалов. The research was carried out as part of the development of new technologies for the restoration of the functional properties of materials. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/60535 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы (ВКР) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| TPU923345.pdf | 2,03 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.