Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/61054
Название: | Закономерности формирования, особенности структуры и свойства ударопрочных защитных покрытий системы Si-Al-N |
Авторы: | У. Шаша |
Научный руководитель: | Божко, Ирина Александровна |
Ключевые слова: | магнетронное осаждение; защитные покрытия Si-Al-N; коэффициент светопропускания; трещиностойкость; ударные испытания; magnetron deposition; Si-Al-N protective coatings; transmittance; fracture toughness; impact test |
Дата публикации: | 2020 |
Библиографическое описание: | У. Шаша. Закономерности формирования, особенности структуры и свойства ударопрочных защитных покрытий системы Si-Al-N : бакалаврская работа / Шаша У. ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа новых производственных технологий (ИШНПТ), Отделение материаловедения (ОМ) ; науч. рук. И. А. Божко. — Томск, 2020. |
Аннотация: | В работе представлены результаты исследований структурно-фазового состояния и физико-механических свойств покрытий системы Si-Al-N толщиной 3 мкм и 6 мкм, сформированных на поверхности монокристаллического кремния методом импульсного магнетронного осаждения. Ударные испытания показали, что наибольшей стойкостью к воздействию высокоскоростных твердых микрочастиц Fe обладают образцы монокристаллического кремния с защитным покрытием Al-Si-N толщиной 3 мкм. Нанесение покрытий Al-Si-N толщиной 3 мкм к уменьшению поверхностной плотности кратеров в 2,4 раза по сравнению с исходными образцами кремния (без покрытий). The paper presents the results of studies of the structural-phase state and physical and mechanical properties of the Si-Al-N coatings with a thickness of 3 ?m and 6 ?m formed on the surface of single-crystal silicon by pulsed magnetron deposition. Impact tests showed that the Al-Si-N protective coating 3?m in thickness on single-crystal silicon substrate have the highest impact resistance to high-speed solid Fe microparticles. The deposition of the Al-Si-N coatings with a thickness of 3 ?m leads to a decrease in the surface density of craters by 2.4 times compared with the original silicon samples (without coatings). |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/61054 |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы (ВКР) |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
TPU930492.pdf | 2,65 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.