Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/61054
Title: Закономерности формирования, особенности структуры и свойства ударопрочных защитных покрытий системы Si-Al-N
Authors: У. Шаша
metadata.dc.contributor.advisor: Божко, Ирина Александровна
Keywords: магнетронное осаждение; защитные покрытия Si-Al-N; коэффициент светопропускания; трещиностойкость; ударные испытания; magnetron deposition; Si-Al-N protective coatings; transmittance; fracture toughness; impact test
Issue Date: 2020
Citation: У. Шаша. Закономерности формирования, особенности структуры и свойства ударопрочных защитных покрытий системы Si-Al-N : бакалаврская работа / Шаша У. ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа новых производственных технологий (ИШНПТ), Отделение материаловедения (ОМ) ; науч. рук. И. А. Божко. — Томск, 2020.
Abstract: В работе представлены результаты исследований структурно-фазового состояния и физико-механических свойств покрытий системы Si-Al-N толщиной 3 мкм и 6 мкм, сформированных на поверхности монокристаллического кремния методом импульсного магнетронного осаждения. Ударные испытания показали, что наибольшей стойкостью к воздействию высокоскоростных твердых микрочастиц Fe обладают образцы монокристаллического кремния с защитным покрытием Al-Si-N толщиной 3 мкм. Нанесение покрытий Al-Si-N толщиной 3 мкм к уменьшению поверхностной плотности кратеров в 2,4 раза по сравнению с исходными образцами кремния (без покрытий).
The paper presents the results of studies of the structural-phase state and physical and mechanical properties of the Si-Al-N coatings with a thickness of 3 ?m and 6 ?m formed on the surface of single-crystal silicon by pulsed magnetron deposition. Impact tests showed that the Al-Si-N protective coating 3?m in thickness on single-crystal silicon substrate have the highest impact resistance to high-speed solid Fe microparticles. The deposition of the Al-Si-N coatings with a thickness of 3 ?m leads to a decrease in the surface density of craters by 2.4 times compared with the original silicon samples (without coatings).
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/61054
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы (ВКР)

Files in This Item:
File SizeFormat 
TPU930492.pdf2,65 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.