Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6131| Title: | Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук |
| Authors: | Худайбергенов, Гамзат Жапарович |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Струнин, Владимир Иванович |
| Keywords: | физика; аморфный кремний; гидрогенизированный кремний; тонкие пленки; осаждение; газовые разряды; аргон-силановая плазма; электроны; распределение; ВЧЕ разряд; химический состав; моделирование; авторефераты диссертаций |
| Issue Date: | 2003 |
| Citation: | Худайбергенов Г. Ж. Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Г. Ж. Худайбергенов ; Омский государственный университет; науч.рук.: В. И. Струнин. — Омск, 2003. — 24 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6131 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2003-92.pdf | 501,79 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.