Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6183| Title: | Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук |
| Authors: | Чистоедова, Инна Анатольевна |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Смирнов, Серафим Всеволодович |
| Keywords: | химическая технология; тантал; тонкие пленки; получение; структура; свойства; оборудование; исследования; ионно-плазменное распыление; соединения тантала; модификация; авторефераты диссертаций |
| Issue Date: | 2005 |
| Citation: | Чистоедова И. А. Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / И. А. Чистоедова ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники; науч. рук.: С. В. Смирнов. — Томск, 2005. — 19 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6183 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2005-1.pdf | 418,42 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.