Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/62545
Title: Моделирование зависимости профилей распределения интенсивностей элементов с учетом неравномерности распыления оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда для анализа многослойных покрытий
Other Titles: Modeling of dependence of profiles of distribution of element intensity with taking into account the difference of spraying of the optical emission glow-discharge spectrometer for analysis of multi-layered coatings
Authors: Ломыгин, Антон
Лаптев, Роман Сергеевич
Иванова, Анна Ивановна
metadata.dc.contributor.advisor: Шулепов, Иван Анисимович
Keywords: моделирование; профили; распределение; интенсивность; элементы; неравномерность; спектрометры; тлеющие разряды; многослойные покрытия; химический состав; свечение
Issue Date: 2020
Publisher: Изд-во ТУСУР
Citation: Ломыгин А. Моделирование зависимости профилей распределения интенсивностей элементов с учетом неравномерности распыления оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда для анализа многослойных покрытий / А. Ломыгин, Р. С. Лаптев, А. И. Иванова ; науч. рук. И. А. Шулепов // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2020 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТУСУР, 2020. — Т. 1 : Физика. — [С. 118-120].
Abstract: Modern technologies cannot do without materials with special characteristics; some of these materials are coatings and thin films. Coatings and thin films are used in various fields, from optics to protective films from any influences. In addition to the technological problems associated with the deposition of a large number of layers, methodological problems also arise in profiling due to the physical and instrumental artifacts that accompany ion sputtering of ultrathin and thin multilayer coatings. These factors must be carefully monitored, but spectrometry is one of the methods for controlling the elemental composition glow discharge. The purpose of this study is the ability to adjust the distribution profiles of chemical elements after analysis using a glow discharge spectrometer GD-Profiler 2.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/62545
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File SizeFormat 
conference_tpu-2020-C21_V1_p118-120.pdf481,56 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.