Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64521| Название: | The nonisothermal model of the initial stage of ion implantation process |
| Авторы: | Parfenova, Elena Sergeevna |
| Ключевые слова: | ионная имплантация; обработка; материалы; поверхностные слои; диффузия примесей; механические напряжения; компьютерное моделирование |
| Дата публикации: | 2016 |
| Библиографическое описание: | Parfenova E. S. The nonisothermal model of the initial stage of ion implantation process / E. S. Parfenova // Nanoparticles, nanostructured coatings and microcontainers: technology, properties, applications : 7th International Conference, May 12-15, 2016, Tomsk, Russia. — Tomsk, 2016. — [P. 51]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64521 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2016-C116_p51.pdf | 208,17 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.