Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64961| Название: | Травление углеродных покрытий в плазме водорода |
| Авторы: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович Ручкин, Сергей Евгеньевич Юрьев, Юрий Николаевич Уханов, С. И. |
| Ключевые слова: | углеродные покрытия; плазма; водород; напыление; магнетронные распылительные системы; ионное травление |
| Дата публикации: | 2021 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Травление углеродных покрытий в плазме водорода / Д. В. Сиделёв, С. Е. Ручкин, Ю. Н. Юрьев, С. И. Уханов // Водород. Технологии. Будущее : сборник тезисов докладов Всероссийской научно-практической конференции, г. Томск, 23-24 декабря 2020 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2021. — [С. 51]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64961 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2020-C130_p51.pdf | 493,35 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.