Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6623| Title: | Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 05.09.01 |
| Authors: | Ляпунов, Данил Юрьевич |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Бекишев, Рудольф Фридрихович |
| Keywords: | Преобразователи перемещений ёмкостные; авторефераты диссертаций; микроэлектромеханические системы; емкостные преобразователи; материаловедение; математическое моделирование; экспериментальные исследования |
| Issue Date: | 2010 |
| Citation: | Ляпунов Д. Ю. Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 05.09.01 / Д. Ю. Ляпунов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Р. Ф. Бекишев. — Томск, 2010. — 21 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6623 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2010-81.pdf | 1,05 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.