Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6634| Title: | Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 05.09.03 |
| Authors: | Нечаев, Михаил Анатольевич |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Бекишев, Рудольф Фридрихович |
| Keywords: | Магнетроны; Плазменное напыление — Физико-химические процессы; авторефераты диссертаций; магнетронные вакуумные установки; сканирование; электроприводы; системы управления; имитационное моделирование; разработка; экспериментальные исследования |
| Issue Date: | 2010 |
| Citation: | Нечаев М. А. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 05.09.03 / М. А. Нечаев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Р. Ф. Бекишев. — Томск, 2010. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6634 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2010-91.pdf | 643,17 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.