Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/67247| Название: | Напыление плёнок из карбида титана с помощью дуальной магнетронной распылительной системы |
| Авторы: | Гусс, Людмила Евгеньевна |
| Научный руководитель: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Ключевые слова: | магнетронная дуальная распылительная система; карбид титана; функциональные свойства; структурные свойства; износостойкое покрытие; magnetron dual sputtering system; titanium carbide; functional properties; structural properties; wear-resistant coating |
| Дата публикации: | 2021 |
| Библиографическое описание: | Гусс Л. Е. Напыление плёнок из карбида титана с помощью дуальной магнетронной распылительной системы : магистерская диссертация / Л. Е. Гусс ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Д. В. Сиделёв. — Томск, 2021. |
| Аннотация: | Напыление плёнок из карбида титана с помощью дуальной магнетронной распылительной системы. В процессе исследования были получены данные о влиянии мощности магнетрона на структурные и функциональные свойства карбида титана. Были определены оптимальные режимы для получения карбида титана с составом, наиболее близким к стехиометрическому. Sputtering of titanium carbide films using a dual magnetron sputtering system. In the course of the study, data were obtained on the effect of the power of the magnetron on the structural and functional properties of titanium carbide. Optimal conditions for obtaining titanium carbide with a composition closest to stoichiometric were determined. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/67247 |
| Располагается в коллекциях: | Магистерские диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| TPU1168063.pdf | 1,35 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.