Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/67379| Title: | Плазмохимическое осаждение плёнок гидрогенизированно-го аморфного углерода |
| Authors: | Гречкина, Анастасия Михайловна |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Keywords: | алмазоподобное углеродное покрытие; гидрогенизированный аморфный углерод; твердость; адгезия; коэффициент трения; diamond-like carbon coating; hydrogenated amorphous carbon; hardness; adhesion; coefficient of friction |
| Issue Date: | 2021 |
| Citation: | Гречкина А. М. Плазмохимическое осаждение плёнок гидрогенизированно-го аморфного углерода : магистерская диссертация / А. М. Гречкина ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Д. В. Сиделёв. — Томск, 2021. |
| Abstract: | Получение данных о влиянии Uсм на структурные и функциональные свойства подложек с a-C:H покрытием, полученных с помощью метода плазмохимического осаждения из газовой фазы, в смеси Ar/C2H2 с приложением к подложке отрицательного напряжения смещения в диапазоне от 50-100 В. The aim of this work is to obtain data on the effect of the bias voltage (Ucm) in the range from 50 to 100 V applied to the substrate on the structural and functional properties of a-C: H coatings obtained by plasma-chemical deposition in an Ar + C2H2 mixture. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/67379 |
| Appears in Collections: | Магистерские диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| TPU1171088.pdf | 2,51 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.