Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6985| Title: | Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук |
| Authors: | Пушкарёв, Александр Иванович |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Ремнев, Геннадий Ефимович |
| Keywords: | химия; химические процессы; плазма; газы; молекулы; колебательные возбуждения; ускорители; ускорительная техника; ТЕМП; плазмохимические реакции; радиационно-акустическая диагностика; тетрахлорид кремния; сильноточный электронный пучок; гексафторид вольфрама; диссоциация; импульсный электронный пучок; авторефераты диссертаций |
| Issue Date: | 2002 |
| Citation: | Пушкарёв А. И. Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / А. И. Пушкарев ; Томский политехнический университет; Научно-исследовательский институт высоких напряжений; науч. рук.: Г. Е. Ремнев. — Томск, 2002. — 19 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6985 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2003-14.pdf | 377,95 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.