Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/7193| Title: | Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.20 |
| Authors: | Бумагина, Анна Ивановна |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Рябчиков, Александр Ильич |
| Keywords: | Электрический разряд; авторефераты диссертаций; физика; вакуумные дуги; импульсно-периодический потенциал; мишени; смещения; смещения; плазма; фильтрация; ионно-плазменное осаждение; покрытия; ионно-плазменная обработка; металлы; имплантация; вакуумно-дуговая плазма; микрокапельная фракция |
| Issue Date: | 2015 |
| Citation: | Бумагина А. И. Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения : автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.20 / А. И. Бумагина ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Лаборатория № 22 ; науч. рук. А. И. Рябчиков. — Томск, 2015. — 19 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/7193 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2015-72.pdf | 3,96 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.