Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72901| Название: | Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N |
| Другие названия: | Influence of parameters of magnetron sputtering on microstructure and mechanical properties of Ti-Al-Ta-N coatings |
| Авторы: | Гаранин, Ю. А. Кузьминов, Е. Д. |
| Научный руководитель: | Шугуров, Артур Рубинович |
| Ключевые слова: | магнетронное распыление; микроструктуры; механические свойства; покрытия |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Гаранин, Ю. А. Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N / Ю. А. Гаранин, Е. Д. Кузьминов ; науч. рук. А. Р. Шугуров // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2022. — Т. 1 : Физика. — [С. 56-58]. |
| Аннотация: | The microstructure and mechanical properties of Ti-Al-Ta-N coatings obtained by DC and pulsed magnetron sputtering are investigated. It is shown that the coatings deposited in the pulsed regimes are characterized by denser mixed microstructure with columnar and equiaxed grains compared with the columnar DC coating. The changes in the microstructure are found to provide increased mechanical properties of the coatings obtained in the pulsed regimes. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72901 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2022-C21_V1_p56-58.pdf | 257,14 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.